钕铁硼和钐钴该怎么选

靶材烧出一圈跑道，不是靶材不行，而是背后的磁铁没选对。

平面磁控靶的利用率通常只有三四成。剩下的全跟着旧靶进了回收炉。跑道怎么烧，全看靶背那排磁铁。

磁场画跑道：磁力线把电子锁在靶面附近打转。等离子体只能在底下轰击出一道环形跑道。磁场太弱放电撒开，太强跑道又窄成一条缝。

四种磁铁脾气不同：
钕铁硼：磁力最强，是绝大多数靶的标准答案。
钐钴：耐高温抗腐蚀，专治高温腔体。
铁氧体：便宜大碗，但磁场弱效率低。
铝镍钴：最抗烤，但矫顽力低，碰一下铁器就退磁。

选磁铁得问四句：
看温度：常温用钕铁硼，带烘烤上 UH 级起步。200℃以上直接上钐钴。
看气体：反应溅射必须镀镍加灌封防腐蚀。
看靶材：磁性材料会把磁力线短路，靶必须做薄。
看需求：强磁速率高但不均匀，大面积镀膜得靠折中。

磁铁方案才是真值钱的地方。越是贵料大面，磁场越花心思。从静态到扫描、旋转再到在线可调，全是拿钱换利用率。

有个厂沉积速率四个月掉了27%。查半天发现是冷却水被拧小，N级磁铁过热退磁了。换上耐热的UH级并加了水冷联锁，速率立马回血。

磁铁退磁不报警，速率缓降就是它唯一的告警面板。